微電子和電子學(xué)的革新導(dǎo)致了樣品越來越小,傳統(tǒng)的雙目顯微鏡也在不斷面臨挑戰(zhàn)。然而數(shù)碼顯微鏡不使用目鏡,而是用戶可直接通過顯示器進行觀察的特點,讓微電子的觀察效率有了很大的提高。
控制(QC/QA)或開發(fā)(R&D)時,一些微電子器件的生產(chǎn),如硬盤驅(qū)動器,要求對其各個部件進行檢查和質(zhì)量控制,全尺寸:從宏觀(>2毫米)->介觀尺度(10mm~25μm)->微觀尺度(1000μm~500nm)->納米尺度(<500nm)。需要使用數(shù)碼顯微鏡對零件快速進行大視野成像,以及精準(zhǔn)的尺寸計量。從而滿足更快的改進制作規(guī)范以及生產(chǎn)需求,優(yōu)化整個工作流程。使用徠卡DVM6數(shù)碼顯微鏡的以下性能,可快速得出檢查的可靠結(jié)果。本報告的重點將是大視野、測量功能及傾斜角度(下述紅色字體部分)。
自動跟蹤和存儲的可重復(fù),顯微鏡最重要的硬件參數(shù)可記憶(編碼),例如,使用的倍數(shù),照明和相機設(shè)置等參數(shù)條件可快速重現(xiàn);
超大變焦范圍16:1,鏡頭切換支持熱插拔;
二維尺寸測量及三維尺寸測量
快速角度旋轉(zhuǎn),傾斜角度不同視角觀察樣品;
集成LED(發(fā)光二極管)環(huán)形光和同軸光,具有多方向的照明模式;
數(shù)字快照和數(shù)字10MP的數(shù)碼相機,高畫質(zhì)成像;
XY拼圖功能和Z軸掃描成像功能,可拍攝大范圍大景深的圖像;
徠卡DVM6數(shù)碼顯微鏡滿足微觀尺寸(10mm~500nm)的觀察,例如在電子零件領(lǐng)域用于測量硬盤驅(qū)動器上零件通孔的直徑、周長和深度分布,以及焊點的長度、面積和高度分布。
硬盤驅(qū)動器圖示
總結(jié)
微電子和電子工業(yè)與日俱增,需要更快更便宜的設(shè)備生產(chǎn),同時滿足不斷提高產(chǎn)品規(guī)格的要求。從而導(dǎo)致制造商的工作流程變得更為復(fù)雜,對工作流程的效率要求也越來越高。DVM6數(shù)碼顯微鏡無目鏡,直接觀察顯示器的特點以及符合人體工學(xué),無論是在產(chǎn)品創(chuàng)新、研究和開發(fā)(R&D)、生產(chǎn)、質(zhì)量控制與保證(QC/QA)或失效分析(FA),都能大大提高工作效率,減少成本增加效益。
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