直播回顧 | 電鏡制樣在新能源及半導體行業(yè)的應用

具體如下：

針對上述材料特點和電鏡制樣難點，徠卡顯微系統(tǒng)推出三種加工策略和兩種設備，以便能盡可能真實地展現(xiàn)出材料表面及體相結構。

對于絕大部分常見樣品，無論是塊材、片材、薄膜、顆粒或者粉末(包埋后)，均可使用精研一體機(徠卡EM TXP)對其進行精準的定點切割、研磨和拋光，接近我們所感興趣的位置(預留~50 μm)，再使用三離子束切割儀(徠卡EM TIC 3X)進行無應力切割，直接暴露出目標位置?；蛘咭部梢栽跈C械拋光后，使用徠卡TIC 3X對其進行大范圍離子束拋光，去除應力損傷層，暴露出干凈平整的樣品表面。

對于塊狀、片狀、甚至薄膜材料，我們可以使用TXP對其進行預加工，得到厚度小于30 μm，直徑為3 mm的圓片，再通過離子減薄儀(徠卡EM RES102)進行中央的薄區(qū)加工，用于透射電鏡觀察。

高真空鍍膜能夠幫助我們消除電鏡觀察過程中電荷積聚效應，避免電子束對樣品表面的熱損傷，提高對表面細微結構的分辨能力。同時，一款優(yōu)秀的鍍膜儀能夠更加真實地展現(xiàn)出材料表面的細微的立體結構。

對于一些活潑材料，其材料本身或者新鮮截面極易于空氣中的水或氧氣反應，只是表面形貌和化學組成改變，甚至可能造成燃燒、爆炸等危害。此時，徠卡推出的真空冷凍傳輸系統(tǒng)能夠有效避免樣品在轉移、運輸過程中，與環(huán)境氣體(水汽或氧氣)接觸，保護樣品。同時，該裝置還能夠長時間(>= 80 min)保持低溫(<-180攝氏度)和高真空(5*10-6 ~ 7*10-6 mbar)，為客戶提供充足的時間進行樣品轉移運輸。